型號：

精密液體氣相發(fā)生器

描述：產(chǎn)品簡介：精密液體氣相發(fā)生器是針對實驗室CVD實驗中導(dǎo)入液體的系統(tǒng)，其液體流量是通過數(shù)字液體泵來控制，流量為80ml/min，精確度為0.005ml

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：精密液體氣相發(fā)生器是針對實驗室 CVD 實驗中導(dǎo)入液體的系統(tǒng)，其液體流量是通過數(shù)字液體泵來控制，流量為 80ml/min ，精確度為 0.005ml。液體被蠕動泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后，被系統(tǒng)里的加熱裝

置加熱成蒸汽，然后隨導(dǎo)入的氣體被帶入到爐管中。本機能夠?qū)С龆喾N液體，如 ETOH 、SnCl4 、 TiCl4R、

SiHCl3 和 Zn（C2H5）2，以及多種有機物混合。對于研究用 CVD 方法生長納米線和薄膜是的研究設(shè)備。

產(chǎn)品型號	精密液體氣相發(fā)生器
主要特點	1 、流體和氣體在一個 316 不銹鋼罐中加熱。
	2 、采用 30 段程序化控溫。 3 、氣體流速通過浮子流量計控制。 4 、配有壓力表，可測出液氣混合罐中的氣體壓強。 5 、配有兩個不銹鋼針閥，以控制氣體進(jìn)出。 6 、可與本司所有管式爐和 CVD 系統(tǒng)相連接。
	7 、已通過 CE 認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)	1 、電源：單相 AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率： 1000W 3、蠕動泵：精確度±0.02%FS ，流量 0-80ml/min （可調(diào)） 4、工作溫度： 300℃