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型號:

EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀

描述:產(chǎn)品簡介:EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合的頻率測量技術(shù),進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測

  • 廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷商
  • 更新時間

    2024-03-07
  • 訪問量

    577
詳細(xì)介紹


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產(chǎn)品簡介: EQ-TM106 膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理, 結(jié)合的頻率測量技術(shù), 進(jìn)行膜厚的在線  監(jiān)測。主要應(yīng)用于 MBE 、OLED 熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中,用于對膜層厚度及鍍膜速率  進(jìn)行實(shí)時監(jiān)測。 EQ-TM106 膜厚監(jiān)測儀根據(jù)制備薄膜的實(shí)時速率可以輸出 PWM (脈沖寬度調(diào)制) 模擬量, 作為膜厚傳感器使用, 與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制,從而檢測所制備薄膜的厚度。 EQ-TM106 膜厚監(jiān)測儀體積小巧可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間, 原理簡單, 操作方便, 尤其適合于實(shí)驗(yàn)室中薄膜制備  過程的使用。


產(chǎn)品名稱

EQ-TM106 膜厚監(jiān)測儀

產(chǎn)品型號

EQ-TM106

主要特點(diǎn)

1 、本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。


2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn),可直觀顯示所測的膜厚、速率、 頻率、 PWM 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。


3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù) 等進(jìn)行設(shè)置, 并可將所測相關(guān)數(shù)據(jù)寫入 Excel 文件。


4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)參數(shù)

EQ-TM106-1 監(jiān)測組件


1、電源: DC    5V(±10%),電流 400mA


2、頻率分辨率: ±0.03Hz


3、膜厚分辨率: 0.0136? (鋁)





4、膜厚準(zhǔn)確度: ±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應(yīng)力,溫度和密度


5、測量速度: 100ms-1s/次,可設(shè)置


6、測量范圍: 500000? (鋁)


7、標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體: 6MHz


8 、計(jì)算機(jī)接口: RS-232/485 串行接口(波特率 1200 、2400 、4800 、9600 、19200 、38400  設(shè)置,數(shù)據(jù)位: 8,停止位: 1,校驗(yàn):無)


9、模擬輸出: 8 比特分辨率, PWM 脈寬調(diào)制輸出(集電極開路或內(nèi)部 5V 輸出)


10、工作環(huán)境: 溫度 0-50℃, 濕度 5%-85%RH,不得有冷凝水珠


11、外形尺寸: 90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2 顯示儀

1、輸入電源: AC 220V±10%


2、輸出電源: DC    5V    3A


3、顯示器: 12×2 數(shù)碼管與 LED


4、通訊端口: RS-485(波特率 1200 、2400 、4800 、9600 、19200 、38400 可設(shè)置,數(shù)據(jù)位:

8 位,停止位: 1 位,奇偶校驗(yàn):無)


5、外形尺寸: 182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3 探頭

1、適用晶片頻率: 6MHz


2、適用晶片尺寸: ?14mm


3、安裝法蘭: CF35


4、冷卻水管: ?3mm ,長度 300mm 、500mm 、1000mm


5、冷卻水壓: <0.3MPa


6、氣動擋板路管: ?3mm


7、壓縮空氣壓力: <0.8MPa ,>0.5MPa





8、烘烤溫度:通水狀態(tài)<200℃,不通水狀態(tài)法蘭<100


9、電氣接口: BCN 插座

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

EQ-TM106-1 監(jiān)測組件

1 

2

EQ-TM106-2 顯示儀

1 

3

EQ-TM106-3 探頭

1 


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