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型號:

SE-VM光譜橢偏儀03090802

描述:產(chǎn)品簡介:SE-VM是一款高精度快速測量光譜橢偏儀

  • 廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷商
  • 更新時間

    2024-03-07
  • 訪問量

    504
詳細介紹

 

 

 

img1

 

產(chǎn)品簡介: SE-VM是一款高精度快速測量光譜橢偏儀。可通過橢偏參數(shù)、透射/反射率等參數(shù)的測量,快速實現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析,適用于薄膜材料的快速測量表征。支持多角度,微光斑,可視 化調(diào)平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置,多功能模塊定制化設(shè)計。

高精度橢偏測量解決方案;超高精度、快速無損測量;支持多角度、微光斑、可視化調(diào)平系統(tǒng)功能模塊靈活定制;豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保證強大數(shù)據(jù)分析能力。廣泛應(yīng)用于鍍膜工藝控制、tooling 校正等測量應(yīng)用,實現(xiàn)光學(xué)薄膜、納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)常數(shù)和幾何特征尺寸快速的表征分析。

產(chǎn)品型號

SE-VM 光譜橢偏儀

主要特點

1、采用高性能進口復(fù)合光源,光譜覆蓋可見到近紅外范圍img2(380-1000nm)

 

2、高精度旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制、 PCRSA 配置, 實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集

 

3、支持系列配置靈活,可根據(jù)不同應(yīng)用場景支持多功能模塊化定制

 

4、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料

技術(shù)參數(shù)

1、自動化程度:手動變角

 

2、應(yīng)用定位:通用型

 

3、基本功能: Psi/Delta、N/C/S、R/T 等光譜

 

4、分析光譜 380-1000nm(可擴至210-1650nm)

 

5、單次測量時間: 0.5-5s

 

6、重復(fù)性測量精度: 0.01nm

 

7、光斑大?。?/span> 大光斑 2-3mm,微光斑 200 μm

 

8、入射角調(diào)節(jié)方式:手動變角

 

9、入射角范圍: 55-75°(5°步進),90°

 

10、找焦方式:手動找焦

 

11、Mapping 行程:不支持

 

12、支持樣件尺寸:  180mm

可選配件

1

溫控臺

2

Mapping 擴展模塊

3

真空泵

4

透射吸附組件

 

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