產(chǎn)品型號

高真空 CVD 系統(tǒng) OTF-1200X-80-C2HV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<60℃。

2 、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。

3 、采用 PID 控制器， 可以設(shè)置 30 段升降溫程序。

4 、質(zhì)量流量系統(tǒng)采用 316 不銹鋼制作而成。

5 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz

2、石英管： 外徑 ?80mm ，內(nèi)徑 ?75mm ，長 1000mm

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲（表面涂有氧化鋯）

4、加熱區(qū)域： 440mm

5、恒溫區(qū)域： 150mm

6 、工作溫度：  1200℃ ，連續(xù)工作 1100℃

7、升降溫速率： 20℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9、熱電偶： K 型

高真空機組

1、殼體： 600mm×600mm×700mm ，承重 275kg

2、真空泵： 德國 Pfeiffer 真空泵

3、顯示屏： LCD 數(shù)字顯示

4、抽氣速率： N2-33L/s ，He-39L/s ，H2-32L/s

5、工作范圍： 1000mtorr-10-7mtorr

6、極限： 10-8mtorr  （無泄漏）

質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

1、電源： 單相 AC208V-240V    50Hz/60Hz

2、功率： 18W

3、尺寸： 600mm×600mm×700mm

4、混氣箱： ?80mm×120mm